| Состояние документа: | действующий (Введен впервые) |
| Обозначение: | ГОСТ Р 8.636-2007 |
| Название рус.: | ГСИ. Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки |
| Дата проверки документа: | 01.01.2009 |
| Дата добавления в библиотеку: | 29.04.2009 |
| Дата введения в действие: | 01.08.2008 |
| Разработан в: | ОАО "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума" МФТИ (ГУ) |
| Утверждён в: | Ростехрегулирование (20.11.2007) |
| Опубликован в: | Стандартинформ № 2008 |
| Область и условия применения: | Настоящий стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10-9 до 10-6 м, и устанавливает методику их калибровки с помощью рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629. |
| Оглавление: | 1 Область применения 2 Нормативные ссылки 3 Термины и определения 4 Технические требования 5 Требования к квалификации калибровщиков 6 Требования по обеспечению безопасности 7 Подготовка к процедуре калибровки 8 Процедура проведения измерений 9 Обработка результатов измерений 10 Оценка неопределенности измерений параметров 11 Оформление результатов калибровки Библиография |
| Ключевые слова: | длина рельефные меры нанометрового диапазона методика калибровки растровые электронные микроскопы |
|
_________________________________________________________ |