| Состояние документа: | действующий (Введен впервые.) |
| Обозначение: | ГОСТ 25661-83* |
| Название рус.: | Установки для финишной очистки воды. Общие технические требования |
| Дата проверки документа: | 01.10.2008 |
| Дата добавления в библиотеку: | 01.02.2009 |
| Дата введения в действие: | 01.01.1984 |
| Утверждён в: | Госстандарт СССР (03.03.1983) |
| Опубликован в: | ИПК Издательство стандартов № 2003 |
| Область и условия применения: | Настоящий стандарт распространяется на установки финишной очистки воды, предназначенные для деионизации воды с последующей стерилизацией и очисткой от микрочастиц и микроорганизмов непосредственно на месте использования при производстве изделий микроэлектроники 4 степени интеграции. |
| Изменения и поправки: | №1 от 01.06.1988 , опубликовано в издании «ИУС 11-88» |
|
_________________________________________________________ |