www.DocNorma.Ru |
ГОСТ 26239.1-84
Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей
Обозначение: ГОСТ 26239.1-84 Статус: действующий Название рус.: Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей Название англ.: Semiconductor silicon, raw materials for its production and quartz. Method of impurities determination Дата актуализации текста: 27.10.2010 Дата актуализации описания: 27.10.2010 Дата введения в действие: 01.01.1986 Область и условия применения: Настоящий стандарт устанавливает химико-атомно-эмиссионный метод определения примесей в интервалах значений массовых долей в полупроводниковом кремнии, двуокиси кремния, кварце, четуреххлористом кремнии и трихлорсилане Список изменений: №1 от 01.01.1991 (рег. 26.06.1990) «Срок действия продлен»
_________________________________________________________ |