|
| Обозначение: | ГОСТ 5.2105-73 |
|
| Статус: | действующий |
|
| Название рус.: | Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции |
|
| Название англ.: | Laser ellipsometric microscope ЛЭМ-2. Quality requirements of sertified products |
|
| Дата актуализации текста: | 27.10.2010 |
|
| Дата актуализации описания: | 27.10.2010 |
|
| Дата введения в действие: | 01.09.1973 |
|
| Область и условия применения: | Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов |
|
