www.DocNorma.Ru |
ГОСТ 19658-81
Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия
Обозначение: ГОСТ 19658-81 Статус: действующий Название рус.: Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия Название англ.: Monocrystalline silicon in ingots. Specifications Дата актуализации текста: 27.10.2010 Дата актуализации описания: 27.10.2010 Дата введения в действие: 01.01.1983 Область и условия применения: Настоящий стандарт распространяется на слитки монокристаллического кремния, получаемые методом Чохральского и предназначенные для изготовления пластин-подложек, используемых в производстве эпитаксиальных структур и структур металл-диэлектрик-полупроводник Взамен: ГОСТ 19658-74 Список изменений: №1 от 01.01.1988 (рег. 30.06.1987) «Срок действия продлен»
№2 от 01.01.1993 (рег. 14.05.1992) «Срок действия продлен»
_________________________________________________________ |