www.DocNorma.Ru |
ГОСТ 26239.8-84
Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния
Обозначение: ГОСТ 26239.8-84 Статус: действующий Название рус.: Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния Название англ.: Semiconductor silicon and raw materials for its production. Method of dichlorsilane, trichlorsilane and silicon tetrachloride determination Дата актуализации текста: 27.10.2010 Дата актуализации описания: 27.10.2010 Дата введения в действие: 01.01.1986 Область и условия применения: Настоящий стандарт устанавливает метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния в четыреххлористом кремнии ректификационно очищенном и в смесях четыреххлористого кремния с трихлорсиланом Список изменений: №1 от 01.01.1991 (рег. 26.06.1990) «Срок действия продлен»
_________________________________________________________ |